ITO薄膜的特性及用途

 

ITO薄膜是一种n型半导体材料，具有高的导电率、高的可见光透过率、高的机械硬度和良好的化学稳定性。它是液晶显示器（LCD）、等离子显示器（PDP）、电致发光显示器（EL/OLED）、触摸屏（TouchPanel）、太阳能电池以及其他电子仪表的透明电极最常用的薄膜材料。

ITO薄膜具有复杂的立方铁锰矿结构，其特性主要有：

（1）导电性能好（电阻率可低达10-4Ω·cm），带隙宽3.5~4.3eV，载流子浓度（1021cm-3）和电子迁移率（15~45cm2V-1s-1）较高；

（2）在可见光波段透过率，可达85%以上；

（3）对紫外线的吸收率较高，可达85%以上；

（4）对红外线具有反射性，反射率高于80%；

（5）对微波具有衰减性，衰减率可达85%以上；

（6）膜层硬度高，耐磨，耐化学腐蚀（氢氟酸等除外）；

（7）膜层具有很好的酸刻、光刻性能，便于细微加工，可以被刻蚀成不同的电图案。

随着显示器件行业的飞速发展，对ITO薄膜的产品性能特性提出了新的要求。同时ITO薄膜制备技术的深入发展，使显示器件的需要变成可能。不同性能的ITO薄膜可以在不同显示器件中的应用。